Elektronų pluošto garinimo metodas yra tam tikra vakuuminio garinimo danga, kuri naudojant elektronų pluoštus tiesiogiai šildo garinimo medžiagą vakuumo sąlygomis, išgaruoja garinimo medžiagą ir transportuoja ją į pagrindą bei kondensuojasi ant pagrindo, kad susidarytų plona plėvelė. Elektronų pluošto šildymo įrenginyje kaitinama medžiaga dedama į vandeniu aušinamą tiglį, kuris gali išvengti reakcijos tarp garavimo medžiagos ir tiglio sienelės ir turėti įtakos plėvelės kokybei. Į prietaisą galima įdėti kelis tiglius, kad būtų galima vienu metu arba atskirai išgarinti ir nusodinti įvairias medžiagas. Garinant elektronų pluoštą, bet kokia medžiaga gali būti išgarinama.
Elektronų pluošto išgarinimas gali išgarinti aukštos lydymosi temperatūros medžiagas. Palyginti su bendru atsparumo šildymo garavimu, jis turi didesnį šiluminį efektyvumą, didesnį pluošto srovės tankį ir greitesnį garavimo greitį. Plėvelė ir plėvelė iš įvairių optinių medžiagų, tokių kaip laidus stiklas.
Elektronų pluošto išgarinimo ypatybė yra ta, kad jis neuždengs dviejų tikslinės trimatės struktūros pusių arba retai uždengs ir dažniausiai tik nusėda ant tikslinio paviršiaus. Tai yra skirtumas tarp elektronų pluošto garavimo ir purškimo.
Elektronų pluošto išgarinimas dažniausiai naudojamas puslaidininkių tyrimų ir pramonės srityje. Pagreitinta elektronų energija naudojama pataikyti į materialų taikinį, todėl medžiagos taikinys išgaruoja ir pakyla. Galiausiai nusėdo ant tikslo.
Paskelbimo laikas: 2022-02-02