Kaip veikia magnetroninis purškimas?
Magnetroninis purškimas yra fizinio nusodinimo garais (PVD) metodas, vakuuminio nusodinimo procesų klasė, skirta plonoms plėvelėms ir dangoms gaminti.
Pavadinimas „magnetroninis purškimas“ kilęs iš magnetinių laukų naudojimo kontroliuojant įkrautų jonų dalelių elgesį magnetroninio purškimo procese.Procesui reikalinga aukšto vakuumo kamera, kad būtų sukurta žemo slėgio aplinka purškimui.Dujos, kurias sudaro plazma, paprastai argono dujos, pirmiausia patenka į kamerą.
Inertinių dujų jonizacijai inicijuoti tarp katodo ir anodo įvedama didelė neigiama įtampa.Teigiami argono jonai iš plazmos susiduria su neigiamai įkrauta tiksline medžiaga.Dėl kiekvieno didelės energijos dalelių susidūrimo atomai iš tikslinio paviršiaus gali išsiveržti į vakuuminę aplinką ir nuslysti ant pagrindo paviršiaus.
Stiprus magnetinis laukas sukuria didelį plazmos tankį, apribodamas elektronus šalia tikslinio paviršiaus, padidindamas nusodinimo greitį ir užkertant kelią substrato pažeidimui dėl jonų bombardavimo.Dauguma medžiagų gali veikti kaip purškimo proceso taikinys, nes magnetroninei purškimo sistemai nereikia lydytis ar išgarinti pradinės medžiagos.
Produkto parametrai
Produktų pavadinimas | Gryno titano taikinys |
Įvertinimas | Gr1 |
Grynumas | Daugiau 99,7 proc. |
Tankis | 4,5g/cm3 |
MOQ | 5 vnt |
Karštas pardavimo dydis | Φ95 * 40 mm Φ98 * 45 mm Φ100*40mm Φ128 * 45 mm |
Taikymas | PVD mašinos danga |
Atsargų dydis | Φ98 * 45 mm Φ100*40mm |
Kiti galimi tikslai | Molibdenas (Mo) Chrome (Cr) TiAl Varis (Cu) Cirkonis (Zr) |
Taikymas
■Integrinių grandynų dengimas.
■Plokščių plokščių ir kitų komponentų paviršiniai ekranai.
■Dekoravimas ir stiklo danga ir kt.
Kokius produktus galime pagaminti
■Aukšto grynumo titano plokščias taikinys (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Standartinė srieginė jungtis lengvam montavimui (M90, M80)
■Nepriklausoma gamyba, prieinama kaina (kontroliuojama kokybė)
Užsakymo informacija
Užklausose ir užsakymuose turi būti nurodyta ši informacija:
■ Skersmuo, aukštis (pvz., Φ100 * 40 mm).
■ Sriegio dydis (pvz., M90 * 2 mm).
■ Kiekis.
■ Grynumo reikalavimas.